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        產品中心
        產品詳情
        • 產品名稱:UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀研究級HORIBA一手

        • 產品型號: UVISEL PLUS
        • 產品廠商:HORIBA堀場
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        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀研究級HORIBA一手UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為先進薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合。UVISEL Plus作為一款高準確性、高靈敏度、高穩定性的經典橢偏機型,它采用了PEM 相位調制技術,與機械旋轉部件技術相比, 能提供更好的穩定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。
        詳情介紹:

        UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀研究級HORIBA一手

        光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nm

        UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為先進薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合。

        UVISEL Plus作為一款高準確性、高靈敏度、高穩定性的經典橢偏機型,它采用了PEM 相位調制技術,與機械旋轉部件技術相比, 能提供更好的穩定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。

        UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術,可在3分鐘以內實現高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準僅需幾分鐘?;谌碌碾娮釉O備,數據處理和高速單色儀,FastAcq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq專門為薄膜表征設計,雙調制技術可以確保您獲得優異的測試結果。

        相位調制技術的獨有特點為高頻調制 50 kHz,信號采集過程無移動部件:

        • 測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90),Δ (0-360)
        • 從FUV到NIR具有優良的信噪比
        • 數據采集速度快,高達50毫秒/點,是動力學研究和在線測量的理想選擇

         

        相比于采用 旋轉元件調制的傳統橢圓偏振光譜儀,UVISEL Plus的相位調制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面,還可以表征50μm的厚膜。

        在測試有背反射的透明樣品時,測試簡單、準確,無需刮花背面。

        UVISEL Plus還設計有多種附件及可選功能,便于客戶根據應用需求及預算選擇合適的配置。比如,微光斑用于圖案樣品、自動變角器、自動樣品臺等。

        UVISEL Plus采用模塊化設計,可靈活擴展。即可用于離線臺式測量,也可以耦合于鍍膜設備做在線監控。

        UVISEL Plus可根據習慣選擇操作界面,一個是 DeltaPsi2  具有建模和擬合處理功能;另一個是 Auto-Soft 用戶導向的全自動樣品測試界面 ,工作流程直觀,易于非專業人士操作。

        UVISEL Plus搭載FastAcq技術是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領域中優選通用光譜型橢偏儀。

        UVISEL Plus是材料科學研究的理想工具。

        產品優勢

        • 高精度和高靈敏度
        • 模塊化設計
        • 寬光譜范圍: 190-2100 nm
        • 集數據測量、建模和自動化操作為一體的軟件包

         

        獲得的信息

        • 膜層厚度,從1?到50 μm
        • 表面和界面粗糙度
        • 光學常數 (n,k) ,適用于各向同/異性和漸變層
        • 光學特性如:吸收系數α, 光學帶隙Eg
        • 材料性能:合金成分、孔隙率、結晶度及形貌等
        • 穆勒矩陣
        • 退偏

        UVISEL 規格

        • 光譜范圍:標配190-885nm,可擴展至近紅外2100nm
        • 檢測系統:高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器

         

         手動配置

        • 光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(針孔)
        • 樣品臺:直徑150mm,手動調節高度(20mm)和傾角
        • 卡位量角器:手動調節角度,從55°到90°,步徑5°

         

         自動配置

        • 光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(針孔)
        • 自動樣品平臺:200 x 200mm或300 x 300mm,手動調節高度(4mm)和傾角;XYZ樣品臺,theta平臺
        • 自動量角器:自動調節角度,從45°到90°,步徑0.01°

         

         集成型量角器

        • 手動調節入射角度,從35°到90°,步徑5°
        • 樣品臺:直徑150mm,手動調節高度(20mm)
        • 自動準直系統(可選)
        • 尺寸: 25cm*21cm*35cm

         

         在線配置

        • 機械適配器:CF35或KF40法蘭
        • 易于在在線和離線配置間更改
        • 更多信息

         

         選配

        • 附件:冷熱臺、液體樣品池、電化學反應池、反射模塊(測試0°入射的反射率)等
        • 可視化:CCD攝像機

         

        性能

        • 準確度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空氣對射1.5 - 5.3 eV
        • 重復性:NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001


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