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產品詳情
簡單介紹：
OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監視器
OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監視器
高精度地實現具有波長依存性的多層膜測量！
詳情介紹：
OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監視器
特長
分光干擾法的膜厚計
高精度FFT膜厚解析引擎（**第4303847號）
可以通過有機纖維構筑自由的測量系統
可以組裝各種制造設備
可以進行實時的膜厚測量
對應遠程操作和多點測量
采用長壽命、高穩定性的白色LED光源
測量項目
多層膜厚解析
用途：
光學膠卷（硬盤、AR膠片、ITO等）
FPD相關（注冊、固態、SiO2等）
単一ポイントタイプ
- 半導體ウェハの面內分布測定
- ガラス基板の面內分布測定
多ポイントタイプ
- リアルタイム計測
- 流れ方向の品質管理
- 真空チャンパーにも対応
トラバースタイプ
- リアルタイム計測
- 幅方向の品質管理
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