兼容裝載口的膜厚測量系統GS-300|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

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產品名稱：兼容裝載口的膜厚測量系統GS-300
產品型號： GS-300
產品廠商：OTSUKA大塚電子
產品價格：0
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簡單介紹：

它是一種具有圖案匹配功能且XY定位精度為2um或更小的系統。

詳情介紹：

特殊長度

支持集成到Φ300mmEFEM單元的備用端口
實現晶圓中嵌入的布線圖案的圖案對齊
支持半導體工藝的高產量要求
支持缺口對齊功能
小尺寸規格

測量例

TSV嵌入式圖案晶片研磨后的硅厚度
晶圓厚度Φ300mm尺寸

電影

產品信息
規格
測量例

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