塔瑪薩崎Otsuka大塚測量儀器|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

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產品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚測量儀器
產品型號：MCPD 系列在線薄膜評估系統
產品廠商：OTSUKA大塚電子
產品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

我們的 MCPD 系列內聯薄膜評估系統采用光學類型，可在非接觸式和無損條件下檢測薄膜厚度、濃度和顏色。可測量薄膜厚度范圍為 65nm 至 92μm，從薄膜到厚膜。（折射率為1.5時）測量原理為分光干涉方式，在實現高測量再現性的同時，還支持多層厚度測量。由于采用專有算法可實現高速實時監控，因此我們提出了*適合在線膠片監視器的系統。

詳情介紹：

特點

非常適合工藝過程中的薄膜高速測量
*短曝光時間1ms~ ※根據規格
支持遠程測量
膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO₂轉換）

基本配置

MCPD 嵌入式基本配置

多點測量點切換支持系統

在多點測量點切換兼容系統中，通過在TD方向上預先將多分支光纖安裝在任意寬度上，可以在不驅動光纖的情況下測量TD方向的薄膜厚度分布。可用作涂層條件和實時監視器。

探測器和數據處理系統是一種類型，可通過光纖光路切換進行多點測量。

多點測量系統

遍歷單元對應系統

在支持遍歷單元的系統中，通過在 TD 方向上驅動遍歷單元，可以測量 TD 方向上的薄膜厚度分布，范圍和間距均相同。可用作涂層條件和實時監視器。

無需多個探測器或數據處理，即可通過驅動遍歷單元進行多點測量。

遍歷測量系統

即使在真空環境中也能進行多點反射和透射光譜測量

通過使用適用于各種法蘭的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射和透射光譜。此外，薄膜厚度計算不受基膜上下運動的影響，并且通過采用大分電子專有的算法，可以**測量薄膜，可用作實時監視器。

規格

MCPD-9800 規格

類型表達式	MCPD-9800
	2285C		3095C		3683C		311C		916C
測量波長范圍（nm）	220～850		300～950		360～830		360～1100		900～1600
薄膜厚度范圍*	65nm～35μm		65nm～50μm		65nm～45μm		65nm～49μm		180nm～92μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲	〇
顏色測量	〇								×
掃描時間	5ms～20s								1ms～10s
點直徑	φ1.2mm
纖維長度	1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。取決于規格

MCPD-6800 規格

類型表達式	MCPD-6800
類型表達式	2285C	3095C	3683C	3610C
測量波長范圍（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1000
薄膜厚度范圍*	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量	〇
掃描時間	16ms～65s
點直徑	φ1.2mm
纖維長度	1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。取決于規格

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