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產品詳情
簡單介紹：
TSUBOSAKA壺坂 紫外線曝光裝置 UVL-3
光刻工序中簡易曝光燒結裝置
桌面型、一體型，節省空間
配備彩色 LCD 和十字鍵
**控制照射時間
詳情介紹：
| 產品名稱 | UV EXPOSURE EQUIPMENT |
|---|---|
| 產品名稱 | 紫外線曝光裝置 |
| 類型表達式 | UVL-3 |
| 光源 | 超高壓汞燈 250W |
| 輻照度[mW/τ] |
常用：20 - 22 *大值：24 |
| 照度面 （WxH）[mm] |
照射范圍：φ155 有效：φ113 mm |
| 照度不均[± %] | 有效面內 8 |
| 查看和操作 |
主體操作 和外部通信控制 |
| 曝光時間 | 0.1 - 99.9 （長達 99 小時） |
| 樣品臺 | 帶固定式、平面微調機構 |
| 樣品尺寸 [mm x mm] | 100 x 100 |
| 通信 I/F |
連接器：USB 2.0 類型-B 通信：通過虛擬 COM 端口 UART |
| 電源電壓 | AC100V 50/60Hz |
| 功耗[VA] | 450 |
| 操作環境 |
溫度 ： 5 - 35 °C ] 濕度 ： 80 [%] 或更少，無冷凝 |
| 尺寸 （WxHxD） [mm] | 422.5mm （W） ×781mm （H） ×357mm （D） 不包括投影 |
| 重量[kg] | 30 |
| 擴展 |
[可選] ?輻照度變化（更改為 20 或更少） ，曝光蒙版支持（添加掩膜支架和樣品托盤） [自定義] 和樣品尺寸更改（由于照射范圍也更改，因此自定義支持） |
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