代理日本MIKASA旋轉涂布機MS-B200|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

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產品名稱：代理日本MIKASA旋轉涂布機MS-B200
產品型號：
產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
產品價格：0
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簡單介紹：

旋轉涂布機涂布機.com（Mikasa）的產品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。

詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸	φ8英寸晶圓或150×150mm基板
轉速（rpm）	20～5,000
旋轉精度	±1rpm（負載時）
電機	交流伺服電機
蓋	聚碳酸酯
旋轉室內徑	φ360mm
步驟模式數	100 步× 10 模式
時間設置	999.9sec
**聯鎖	真空標準蓋標準設備
滴落設備	選項
使用真空壓力	-0.08～-0.1MPa
電源	AC100～240V　5A
外形尺寸（mm）	500W×335H×583D
重量	28kg

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持選項

<定制類型>		>支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅動）	1 臂	○
自動滴落裝置（空氣驅動）	2 臂	○
自動滴落裝置（支架類型）		○
邊緣沖洗		○
反向沖洗		○
排氣管		○
廢液排放		○
蓋子限位開關		○
特氟龍涂層加工		○
添加電機廢熱風扇		○
緊急停止開關		○
大功率電機

膜厚分布數據

膜厚分布數據

↑Click Zoom

使用的型號	MS-B200
薄膜厚度測量設備	菲梅特里克斯F50
電阻	OFPR-800LB（東京應化社制）
電路板尺寸	φ8英寸硅晶片
目標厚度	1μm
薄膜厚度分布	±0.5％

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