MIKASA旋轉涂膜儀MS-B150 刷涂機實驗儀器|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

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產品名稱：MIKASA旋轉涂膜儀MS-B150 刷涂機實驗儀器
產品型號：
產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
產品價格：0
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簡單介紹：

使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發熱，在連續使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現性也難以受到影響。

詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸	φ6英寸晶圓或100×100mm基板
轉速（rpm）	20～7,000
旋轉精度	±1rpm（負載時）
電機	交流伺服電機
蓋	丙烯酸
旋轉室內徑	φ290mm
步驟模式數	100 步× 10 模式
時間設置	999.9sec
**聯鎖	真空標準蓋選項
滴落設備	選項
使用真空壓力	-0.08～-0.1MPa
電源	AC100～240V　5A
外形尺寸（mm）	352W×303H×432D
重量	16kg

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持選項

<定制類型> >支持<的型號

自動滴落裝置（空氣驅動） 1 臂 ○

2 臂 ○

自動滴落裝置（支架類型） ○

邊緣沖洗 ○

反向沖洗 ○

排氣管 ○

廢液排放 ○

蓋子限位開關 ○

特氟龍涂層加工 ○

添加電機廢熱風扇 ○

緊急停止開關 ○

大功率電機

對準曝光機
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉涂布機
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000

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