MIKASA旋轉涂層機MS-B100|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

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產品名稱：MIKASA旋轉涂層機MS-B100
產品型號：MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
產品價格：0
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簡單介紹：

由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發熱，在連續使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。

詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸	φ4英寸晶圓或75×75mm基板
速度（轉/分）	20~8，000
旋轉精度	±1轉/分（負載時）
發動機	交流伺服電機
蓋	丙烯酸
旋轉室直徑	φ220毫米
步進模式數	100 步× 10 種模式
時間設置	999.9秒
**聯鎖	真空標準蓋可選
滴水裝置	不可連接
使用的真空壓力	-0.08~-0.1兆帕
權力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	259W×246H×330D
重量	10公斤

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型>		<兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型）	1 臂
?自動滴水裝置（氣動型）	2 臂
?自動滴水裝置（支架式）
?漱邊
?背部沖洗
?排氣管		○
?廢液排放		○
?鄰苯二甲酰亞胺開關		○
?特氟龍涂層		○
?增加電機余熱風扇		○
?急停開關		○
?大功率電機

薄膜厚度分布數據

使用的型號 MS-B100

薄膜厚度測量裝置菲爾計量 F50

抵抗 OFPR-800LB （東京大鹿）

電路板尺寸 φ4英寸硅片

目標膜厚度 1微米

薄膜厚度分布 ±0.8%

選型支持技術服務售后安裝調試維修

蘇州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100

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