OTSUKA大塚橢圓光譜儀 FE-5000/5000S|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

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產品名稱：OTSUKA大塚橢圓光譜儀 FE-5000/5000S
產品型號：
產品廠商：OTSUKA大塚電子
產品價格：0
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簡單介紹：

塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司OTSUKA大塚 Zeta電位，粒徑，分子量測量系統 ELSZneo OTSUKA大塚橢圓光譜儀 FE-5000/5000S

詳情介紹：

特征

可在紫外可見光（300~800nm）波長范圍內進行橢圓參數測量。
能夠對納米量級的多層薄膜進行膜厚分析
通過 400 個或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
用于薄膜詳細分析的可變反射角測量
通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能來提高可操作性

測量項目

橢圓參數（tanψ， cosΔ）測量
光學常數（n：折射率，k：消光系數）分析
膜厚分析

測量對象

半導體晶片
柵極氧化薄膜、氮化物薄膜
SiO₂，Si x Oy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃罪_xO_y，多晶硅，硒化鋅，BPSG，TiN
光刻膠光學常數（波長色散）
化合物半導體
鋁_x加語_（1-x）作為多層，非晶硅
FPD
取向膜
各種新材料
DLC（類金剛石碳）、超導薄膜、磁頭薄膜
光學薄膜
TiO₂，SiO₂，防反射膜
在 G 線（436nm）、H 線（405nm）和 I 線（365nm）
等波長下進行光刻 N，K 評估

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