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        產品詳情
        • 產品名稱:MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-1-330塔瑪薩崎電子

        • 產品型號:
        • 產品廠商:MDCOM株式會社
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        簡單介紹:
        MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-1-330塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化
        詳情介紹:


        MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUT-1-330塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化

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        參考規格

        蘋果 XE(氙氣)準分子燈*1
        波長 172納米 *1
        安裝的燈具數量 1*2起的定制設計
        有源發射長度 150毫米~2500毫米
        光。。。。。。。。。。。。 標準 70毫瓦/平方英寸以上 *4
        光。。。。。。。。。。。。 高照度 120毫瓦/平方英寸以上 *4
        光。。。。。。。。。。。。 內管水冷高照度 170毫瓦/平方英寸以上 *4
        照度均勻性 ± 10% 以內
        陣容
        梅特 標準照度(70mW/cm2),水冷系統(電源和燈座)
        梅烏塔 標準照度 (70mW/cm2),風冷
        默斯 高照度(120mW/cm2),水冷系統(電源和燈座)
        默特 大面積體輻照裝置(帶石英窗)
        梅斯-WC 內管水冷高照度(170mW/cm2)水冷系統(電源和燈座,內管電極)
        *5
        ■ 注
        *1 波長選項:222nm
        *2 燈管數量、有效長度、照射設備尺寸:定制*3 支持以 10mm 燈管有效長度為增量進行定制
        。 對于有效長度為1700mm或以上,兩個燈以交錯排列的方式排列
        *2 點亮后立即測量大氣管表面(通過照度計C4/H9536-9535測量)*172 內管冷卻需要純水(每盞燈5L/min)





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