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產品詳情
簡單介紹：
小型激光探針單元MP系列
非接觸式測量在任何環境中進行非接觸式精密測量
通過將其集成到加工機或在線設備中，可以在機器上進行形狀測量，這通常是在單獨的過程中進行的，有助于提高超精密加工的精度和質量控制的合理化。
詳情介紹：
國內總代MITAKA三鷹光器非接觸精密激光探針MP系列
長處
小型激光探針單元
非接觸式測量
0 mm 范圍，01.0 μm （001.10 μm） 分辨率，不會
損壞工件 超小激光光斑：1μm（100倍）
高速/高精度測量實現
陡坡形狀測量
內置CCD攝像頭可以看到測量點，可以測量
金屬、玻璃、陶瓷、塑料等各種工件。 （可與圖像處理測量鏈接）
非接觸式測量
0 mm 范圍，01.0 μm （001.10 μm） 分辨率，不會
損壞工件 超小激光光斑：1μm（100倍）
高速/高精度測量實現
陡坡形狀測量
內置CCD攝像頭可以看到測量點，可以測量
金屬、玻璃、陶瓷、塑料等各種工件。 （可與圖像處理測量鏈接）
測量功能
在機器上進行機上測量
?超精密模具（非球面透鏡、液晶導光板等）的加工誤差測量、切削刃位置的亞μm測量
、使用晶圓器進行槽寬/深度管理
、使用晶圓器進行槽寬/深度管理
生產線上的形狀測量
?測量引線框架翹曲和步差、
測量晶圓邊緣形狀、漿料的使用量管理
不放在測量機上的大型零件的形狀測量
?凹槽形狀、劃痕形狀、表面粗糙度測量
、大型模具形狀
變化、磨損量管理
、大型模具形狀
變化、磨損量管理
規范
設備尺寸（寬、深、高）
約150x200x200mm
設備重量
約 5 公斤
運動范圍 （自動對焦）
10毫米
自動對焦軸刻度分辨率
0.01微米
測量原理
點自動對焦 ISO-25178-605
激光
λ = 635nm 輸出，1mW 或更低
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