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        產品中心
        產品詳情
        • 產品名稱:南京HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700T

        • 產品型號: D700T
        • 產品廠商:HORIBA堀場
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        簡單介紹:
        總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG流量控制器 高響應壓力非敏感質量流量器關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備,以實現未來的**,以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號,以支持客戶的挑戰。
        詳情介紹:

        總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG 國內各區域銷售



        • 總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG

        • 工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT 

          • 為流程優化提供靈活性

        • 100 ms 響應速度和mfc到mfc的偏差控制

          • 提供高生產力和更大的過程性能

        • 小流量 MRMG 功能(Bin101 - Bin105)

          • 為需要小流量的工藝提供靈活性

        • PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性能

          • 穩定性性和較小的顆粒風險,減少停機時間和優化產量

        • 狀態監控功能

          • 為更智能的故障預測提供更多的內部數據

        *1 流量精度可低至2 SCCM,因此實際氣體低于2 SCCM以下不保證精度。
        *2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)條件下的保證值。
        *3 設定時間為 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他細節定義遵循“SEMI標準 E17-1011章節 4.1.4”的設定時間。
        *4 壓力擾動必須小于 20% 的壓力變化/秒和 ±70 kPa/秒(±10 PSI/秒)。
        *5 EtherCAT® 是注冊商標和**技術,由德國 Beckhoff Automation GmbH 授權。


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